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	mems壓力傳感器
          

          
	
          
    	
          
    	  	
          
              	
          
                	
          mems壓力傳感器 文章
                  進入mems壓力傳感器技術社區(qū)  
                  
          
                
          
                                
          
                  

                                
          
                    
          過程變量變送器的發(fā)展趨勢
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          差壓變送器在應用中的故障診斷與分析
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          超聲波傳感器及應用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          壓電交通傳感器在ITS中的應用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          車用傳感器發(fā)展驅動力及趨勢
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          電容式觸摸傳感器的提升應用設計
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          數(shù)字式扭矩傳感器技術性能及應用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          CNJ-00A系列扭矩傳感器概述
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          微諧振傳感器同頻干擾的建模與消除
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          光傳感器新走向：有源集成Vs無源分立
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          光柵尺的安裝
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          電容傳感器取代機械開關讓產品更便攜
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          電子皮帶秤測速傳感器的現(xiàn)場應用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          光電傳感器在玻璃機械上的應用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          智能傳感器接口的優(yōu)勢
          
                                                            
                    
          
                
          
                                                

                
          
	                
          
		                	
          
	
          
	共209條
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          mems壓力傳感器介紹
          
      			
          
		      	
          
		      			      			      	硅直接鍵合技術廣泛應用于壓力傳感器和加速度計，是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢：成本低，應力小，性能高，可以大規(guī)模生產。壓力傳感器分為兩種，一種是基于壓阻的變化，一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻，隨著壓力的變化，硅膜的應力變化，相應的壓阻發(fā)生變化，鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為：		      	[ 查看詳細 ]
		      			      	
          
    		
          
  		
          
  		  		  		  		  		        		  		
          
    		
          
      			
          
        			
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