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	mems壓力傳感器
          

          
	
          
    	
          
    	  	
          
              	
          
                	
          mems壓力傳感器 文章
                  進入mems壓力傳感器技術社區(qū)  
                  
          
                
          
                                
          
                  

                                
          
                    
          I-Scan壓力量測系統(tǒng)在燃料電池組裝中應用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          I-Scan壓力分布分析系統(tǒng)在化學機械拋光（CMP）中的應用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          融合傳感器數(shù)據(jù)的駕駛輔助系統(tǒng)（DAS）
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          高精度的溫度傳感電路設計
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          無線傳感器開發(fā)系統(tǒng)的設計及實現(xiàn)
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          MEMS壓力傳感器原理與應用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          模擬傳感器的抗干擾措施
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          從光學傳感器到電容傳感器——指紋采集技術的演進
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          TI 秤重天平/橋傳感器解決方案
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          熒光化學傳感器的制備及其在環(huán)境分析監(jiān)測中的應用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          圖像傳感器
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          適合水處理應用的傳感器
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          壓力傳感器的應用--電壓力鍋的工作原理
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          消除回音
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          麥克風的定位
          
                                                            
                    
          
                
          
                                                

                
          
	                
          
		                	
          
	
          
	共209條
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          mems壓力傳感器介紹
          
      			
          
		      	
          
		      			      			      	硅直接鍵合技術廣泛應用于壓力傳感器和加速度計，是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢：成本低，應力小，性能高，可以大規(guī)模生產。壓力傳感器分為兩種，一種是基于壓阻的變化，一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻，隨著壓力的變化，硅膜的應力變化，相應的壓阻發(fā)生變化，鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為：		      	[ 查看詳細 ]
		      			      	
          
    		
          
  		
          
  		  		  		  		  		        		  		
          
    		
          
      			
          
        			
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