新聞中心

EEPW首頁 > EDA/PCB > 設(shè)計(jì)應(yīng)用 > 等離子處理提高65nm邏輯器件可靠性

等離子處理提高65nm邏輯器件可靠性

作者：時(shí)間：2009-05-20 來源：網(wǎng)絡(luò)

加入技術(shù)交流群
- 掃碼加入
  和技術(shù)大咖面對(duì)面交流
  海量資料庫查詢

沉浸和預(yù)處理時(shí)間的影響

為了進(jìn)一步了解NH3等離子預(yù)處理對(duì)器件電學(xué)性質(zhì)的作用，作了一些實(shí)驗(yàn)研究沉浸（NH3和N2）和預(yù)處理（NH3）時(shí)間對(duì)VBD性能的影響。

實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示，沉浸和預(yù)處理總時(shí)間增加時(shí)，擊穿電壓大大提高（圖6），這可能是因?yàn)镃u/SiN界面的改善，與Cu/SiN界面上C和O含量的減少是一致的。

<a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=114&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a7a83b30' border='0' alt='' /></a>
<a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=115&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a3d98779' border='0' alt='' /></a>
<a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=116&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=abca108c' border='0' alt='' /></a>
<a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=117&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a1775170' border='0' alt='' /></a>
<a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=118&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a449048b' border='0' alt='' /></a>

關(guān)鍵詞： SiN 65nm

評(píng)論

相關(guān)推薦

基于65nm工藝數(shù)字IC物理設(shè)計(jì)中信號(hào)串?dāng)_的預(yù)防

電源與新能源設(shè)計(jì) 信號(hào) 預(yù)防物理 IC 65nm 工藝數(shù)字基于 | 2012-05-09

SiN市場(chǎng)值得持續(xù)投資

國際視野 SIN 氮化硅 | 2023-10-13

Microsemi發(fā)布全新65nm嵌入式快閃平臺(tái)

嵌入式系統(tǒng) Microsemi 65nm FPGA | 2010-11-25

采用FPGA 時(shí)序模型保證硅片性能

資源下載 Altera FPGA 時(shí)序模型 65nm Quartus II | 2012-04-20

DAVEDRIVE可生成SVPWM源碼、PID、SINTABLE

zguox | 2012-11-27

實(shí)現(xiàn)模擬輸入和數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)相乘的R.sin轉(zhuǎn)換電路

設(shè)計(jì)方案 sin 模擬輸入數(shù)字數(shù)據(jù) | 2013-11-25

在65nm Cyclone III FPGA 中實(shí)現(xiàn)低功耗

資源下載 65nm Cyclone III FPGA 低功耗設(shè)計(jì) | 2007-10-15

SIN210學(xué)習(xí)筆記_響應(yīng)式web設(shè)計(jì)

HelloWii | 2015-03-20

三部委：對(duì)小于65nm邏輯電路等免征進(jìn)口關(guān)稅

EDA/PCB 65nm 邏輯電路 | 2021-03-30

打造中國本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈

EDA/PCB 半導(dǎo)體 65nm | 2013-03-26

Altera在65nm半導(dǎo)體工藝上的發(fā)展策略

資源下載 Altera 65nm FPGA 工程策略 | 2012-04-12

美國再次放寬對(duì)華高技術(shù)產(chǎn)品出口 65nm以下刻蝕設(shè)備不再受限

EDA/PCB 刻蝕設(shè)備 65nm | 2010-10-09

Synopsys宣布提供DesignWareTM數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器IP

EDA/PCB Synopsys 65nm 數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器 | 2011-04-25

Altera在65nm半導(dǎo)體工藝上的發(fā)展策略

資源下載 Altera 65nm | 2016-06-01

在65nm Cyclone III FPGA中實(shí)現(xiàn)低功耗

資源下載 Altera Cyclone III FPGA 65nm | 2012-04-12

怎么在tornado22中編譯生成可以用singlestep調(diào)試的image??

marker | 2007-08-15

SIN210學(xué)習(xí)筆記__開箱

HelloWii | 2015-01-08

模擬輸入和數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)相乘的R.SINθ轉(zhuǎn)換電路

模擬技術(shù) SIN 模擬輸入數(shù)字數(shù)據(jù) | 2012-03-12

Microsemi發(fā)布65nm嵌入式快閃平臺(tái)

嵌入式系統(tǒng) Microsemi 65nm SoC | 2010-11-18

應(yīng)對(duì)65nm以下測(cè)量技術(shù)挑戰(zhàn)

測(cè)試測(cè)量 65nm | 2011-12-22

實(shí)現(xiàn)模擬輸入和數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)相乘的R.SINθ轉(zhuǎn)換電路圖

設(shè)計(jì)方案實(shí)現(xiàn) 模擬輸入數(shù)字數(shù)據(jù) 相乘 R.SIN 轉(zhuǎn)換電路圖 | 2010-08-31

最經(jīng)典的嵌入式入門教程

uplooking | 2010-06-21

焦點(diǎn)

更多>>

技術(shù)專區(qū)

關(guān)閉

看屁屁www成人影院,亚洲人妻成人图片,亚洲精品成人午夜在线,日韩在线欧美成人 (function(){ var bp = document.createElement('script'); var curProtocol = window.location.protocol.split(':')[0]; if (curProtocol === 'https') { bp.src = 'https://zz.bdstatic.com/linksubmit/push.js'; } else { bp.src = 'http://push.zhanzhang.baidu.com/push.js'; } var s = document.getElementsByTagName("script")[0]; s.parentNode.insertBefore(bp, s); })();