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mems壓力傳感器文章進(jìn)入mems壓力傳感器技術(shù)社區(qū)

現(xiàn)代汽車傳感技術(shù)的發(fā)展商機(jī)

傳感器是一種信號(hào)轉(zhuǎn)換裝置，其功用是檢測(cè)汽車(及發(fā)動(dòng)機(jī))不同狀態(tài)下的各種電量、物理量和化學(xué)量等參數(shù)，并將這些...
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利用差分霍爾器件實(shí)現(xiàn)齒輪速度測(cè)量

在汽車等應(yīng)用環(huán)境惡劣的條件下實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)體的速度測(cè)量具有一定挑戰(zhàn)性，需要在考慮輻射干擾、電磁干擾和傳導(dǎo)干擾...
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生物識(shí)別技術(shù)的基本概念和原理

要掌握一門學(xué)科，首先要做的是對(duì)其基本概念和基本原理有一個(gè)熟練的掌握，然后反復(fù)思考其內(nèi)涵和外延。而要對(duì)一個(gè)...
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光纖氫傳感器的研究進(jìn)展

一、引言無(wú)論是為了預(yù)防氫的積累還是要利用氫的場(chǎng)合都需要對(duì)氫的含量進(jìn)行測(cè)量和監(jiān)控，而安全、可靠且廉價(jià)的...
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發(fā)電廠測(cè)溫預(yù)警系統(tǒng)

本文分析了發(fā)電廠易引起火災(zāi)的場(chǎng)所及發(fā)生原因，介紹了新型溫度探測(cè)器---測(cè)溫電纜的特性及應(yīng)用，提出了發(fā)電廠測(cè)...
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光纖傳感器相位漂移及倍頻問(wèn)題的解決方法

一、引言光纖傳感由于具有本質(zhì)安全、電絕緣性好、靈敏度高及便于連網(wǎng)等優(yōu)點(diǎn)，已在許多物理量的測(cè)量中得到應(yīng)...
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鋼水成分傳感器及其應(yīng)用進(jìn)展

一、引言用計(jì)算機(jī)控制算法優(yōu)化工業(yè)過(guò)程需要實(shí)時(shí)的過(guò)程參數(shù)。一個(gè)工藝過(guò)程被優(yōu)化的程度取決于工藝過(guò)程信息...
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光纖傳感、光纖光柵、光纖光柵傳感

光纖傳感技術(shù)由于光纖不僅可以作為光波的傳輸媒質(zhì)，而且光波在光纖中的傳播時(shí)表征光波的特征參量（振幅、相位...
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磁敏傳感器國(guó)內(nèi)外發(fā)展應(yīng)用狀況分析

磁敏傳感器是傳感器產(chǎn)品的一個(gè)重要組成部分，隨著我國(guó)磁敏傳感器技術(shù)的發(fā)展，其產(chǎn)品種類和質(zhì)量將會(huì)得到進(jìn)一步發(fā)...
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光纖光柵傳感系統(tǒng)的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)

自1978年，加拿大的Hill等人首次在摻鍺石英光纖中發(fā)現(xiàn)光敏現(xiàn)象并采用駐波法制造出世界上第一根光纖光柵和1989...
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對(duì)嵌入式智能傳感器的理論研究

一、引言傳感器技術(shù)是一項(xiàng)當(dāng)今世界令人矚目的迅猛發(fā)展起來(lái)的高新技術(shù)之一，也是當(dāng)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的一個(gè)重要...
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信號(hào)隔離器等相關(guān)問(wèn)題解答

信號(hào)隔離器的工作原理及功能是什么？工作原理：首先將變送器或儀表的信號(hào)，通過(guò)半導(dǎo)體器件調(diào)制變換，然后通過(guò)光感...
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電容式觸摸傳感器的設(shè)計(jì)技巧

隨著混合信號(hào)技術(shù)的發(fā)展，可以利用基于噪聲門限和手指門限的反跳法，實(shí)現(xiàn)按鍵開關(guān)狀態(tài)之間的干凈利落的轉(zhuǎn)換，從而...
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航空發(fā)動(dòng)機(jī)智能溫度傳感器的設(shè)計(jì)

引言航空發(fā)動(dòng)機(jī)全權(quán)限數(shù)字式電子控制（FADEC）是現(xiàn)代戰(zhàn)機(jī)飛行/推進(jìn)系統(tǒng)綜合控制的發(fā)展趨勢(shì)，憑借計(jì)算機(jī)強(qiáng)大而快...
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電渦流傳感器陣列測(cè)試技術(shù)

電渦流傳感器是一種基于電渦流效應(yīng)的無(wú)損、非接觸式的傳感器，以其優(yōu)良的測(cè)試性能，在機(jī)械量的測(cè)量以及金屬材料...
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mems壓力傳感器介紹

硅直接鍵合技術(shù)廣泛應(yīng)用于壓力傳感器和加速度計(jì)，是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術(shù)制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢(shì)：成本低，應(yīng)力小，性能高，可以大規(guī)模生產(chǎn)。壓力傳感器分為兩種，一種是基于壓阻的變化，一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻，隨著壓力的變化，硅膜的應(yīng)力變化，相應(yīng)的壓阻發(fā)生變化，鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為： [ 查看詳細(xì) ]

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