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mems壓力傳感器
mems壓力傳感器 文章 進(jìn)入mems壓力傳感器技術(shù)社區(qū)
mems壓力傳感器介紹
硅直接鍵合技術(shù)廣泛應(yīng)用于壓力傳感器和加速度計(jì),是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術(shù)制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢(shì):成本低,應(yīng)力小,性能高,可以大規(guī)模生產(chǎn)。壓力傳感器分為兩種,一種是基于壓阻的變化,一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻,隨著壓力的變化,硅膜的應(yīng)力變化,相應(yīng)的壓阻發(fā)生變化,鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為: [ 查看詳細(xì) ]
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