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mems壓力傳感器文章進入mems壓力傳感器技術(shù)社區(qū)

TMP05/06型溫度傳感器及其應(yīng)用

摘要：介紹TMP05/TMP06型溫度傳感器的工作原理、性能特點，并給出其應(yīng)用實例。關(guān)鍵詞：數(shù)字溫度傳感器；微控制...
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電容式液位變送器在合成高壓液位測控中的作用

1系統(tǒng)的原狀十余年前，按照傳統(tǒng)的通用設(shè)計和常規(guī)選型，我廠曾裝設(shè)過合成氨分、冷交的液位測控系統(tǒng)。液位計選...
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非接觸位移測量的直線位移傳感器

至今為止，購置費用過高仍然是非接觸位移測量控制系統(tǒng)廣泛應(yīng)用的障礙。Balluff公司的Micropulse-AT（微脈沖－AT）解...
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光柵莫爾條紋技術(shù)的發(fā)展

光柵莫爾條紋技術(shù)是一門既古老又現(xiàn)代的測量技術(shù)。對莫爾條紋的研究最早可以追溯到十九世紀(jì)末期，二十世紀(jì)五十...
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一種硬件細分方法的研究與應(yīng)用

【摘要】對光柵傳感器原始信號進行細分是采用各類光柵器件進行高精度位置測量、角度測量過程中不可或缺...
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光纖傳感器的今日與發(fā)展

本文報道了光纖傳感器國內(nèi)外發(fā)展的現(xiàn)狀。主要介紹了兩方面的情況：光纖傳感器原理性研究的發(fā)展現(xiàn)狀和光纖傳感...
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一種新型懸浮陀螺式質(zhì)量流量計的研究

摘要介紹了一種新型質(zhì)量流量計的理論基礎(chǔ)和實驗情況。主題詞質(zhì)量流量計懸浮陀螺流量測量1.引言隨...
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傳感器技術(shù)在生產(chǎn)實踐中的應(yīng)用

隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展，非物理量的測試與控制技術(shù)，已越來越廣泛地應(yīng)用于航天、航空、交通運輸、冶金、機械制...
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基于DSP的陀螺加速度計數(shù)字伺服回路研究

摘要陀螺加速度計是戰(zhàn)略導(dǎo)彈平臺系統(tǒng)中的核心器件，其正常工作時必須要有相應(yīng)的伺服回路來保證儀表具有足夠的...
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氣體傳感器在氣體泄漏事故處置中的應(yīng)用

隨著石油化學(xué)工業(yè)的發(fā)展，易燃、易爆、有毒氣體的種類和應(yīng)用范圍都得到了增加。這些氣體在生產(chǎn)、運輸、使用過...
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智能自動化及其在儀器儀表中的應(yīng)用

一智能科技全面振興當(dāng)今的智能科技分支林立，蓬勃興旺，在國內(nèi)外已獲得了飛速發(fā)展，諸如模糊邏輯、遺傳算法、神...
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傳感器在設(shè)施農(nóng)業(yè)中的應(yīng)用

我國雖然是農(nóng)業(yè)大國，但要解決十二億人口的吃飯問題還是個值得重視的問題。這個問題的解決關(guān)鍵在于提高農(nóng)業(yè)...
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加速傳感器ADXL150特性及其精度影響因素

ADXL50加速度傳感器是集成在單片集成電路上的完整的加速度測量系統(tǒng)，非常適用于惡劣的工業(yè)及汽車環(huán)境。本文將...
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光柵傳感器在位移自動測量系統(tǒng)中的應(yīng)用

本文介紹一種以單片機為核心的位移自動測量系統(tǒng)，該系統(tǒng)采用光柵傳感器把被測位移量轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘枺?jīng)前置放大和...
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生物傳感器技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀與展望

從上世紀(jì)60年代Clark和Lyon提出生物傳感器的設(shè)想開始，生物傳感器的發(fā)展已經(jīng)距今已有40多年的歷史了。作為一...
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mems壓力傳感器介紹

硅直接鍵合技術(shù)廣泛應(yīng)用于壓力傳感器和加速度計，是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術(shù)制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢：成本低，應(yīng)力小，性能高，可以大規(guī)模生產(chǎn)。壓力傳感器分為兩種，一種是基于壓阻的變化，一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻，隨著壓力的變化，硅膜的應(yīng)力變化，相應(yīng)的壓阻發(fā)生變化，鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為： [ 查看詳細 ]

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